三協(xié)半導(dǎo)體晶圓機器人SR8232-0002AAQ SC3100維修
這幾天,修了一臺用于半導(dǎo)體晶圓上下料的Sankyo三協(xié)機器人本體SR8232-0002AAQ,以及控制柜SC3100。
半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)的三大核心設(shè)備:線邊密集庫(Stocker)、高速塔式提升機(Tower)、天車搬運系統(tǒng)(OHT),前開式晶圓傳送盒(FOUP)的高效平穩(wěn)運輸過程,可幫助半導(dǎo)體晶圓廠實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)條件下的高效、安全、無塵的全自動搬運和倉儲。機械手是半導(dǎo)體設(shè)備的重要零部件之一,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的前段工序,用于搬送、運輸及定位晶圓。主要分為大氣機械手和真空機械手,其中大氣機械手市場占比超過60%。
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