川崎電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

川崎電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

      川崎晶圓搬運機器人占據(jù)了全球晶圓搬運機械人51%以上的市場份額。

 

川崎電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156

川崎伺服電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156參數(shù)：

功率：2.0KW

轉(zhuǎn)速：3000 min-1

 

      在晶圓切片，晶圓測試、固圓、導(dǎo)線架等工藝時使用二氧化碳雪清洗，可以去除各種污染物。半導(dǎo)體CO2清洗單元使用了川崎機器人與隆深機器人合資的隆崎機器人明星產(chǎn)品SCARA機器人KLS600，配合高精度、高品質(zhì)核心零部件，保證了設(shè)備的穩(wěn)定運行。可適用于3C、半導(dǎo)體行業(yè)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)消耗品成本高，清洗效率低等問題。