安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

安川潔凈機器人NX100/ECS1200DN-L

重量：700kg

 

有效載荷：30kg

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

ECS1200DN-1600

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

YR-ECS200N-B42

NX100/ECS1200DN-L

ERCR-ECS1200DNL-AA10

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

SERIAL NO.S16B81-1-1

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

S16B79-2-M

S16B79-1-1

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

 

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

 

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

 

安川玻璃基板搬運機器人NX100/ECS1200DN-L

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機器人可全面對應(yīng)各代玻璃基板尺寸的高速、高精度、高度柔性動作的需求，大幅度削減配套設(shè)備費用。

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機器人主要分為兩大系列，既CSL系列和CR系列。CR系列是垂直多關(guān)節(jié)機器人，進行全姿態(tài)動作運動，CSL系列是水平直線及回轉(zhuǎn)運動型機器人，高精度高速度。液晶生產(chǎn)線上往往需要同時用到這兩個系列機器人。

 

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機器人也分為大氣環(huán)境使用機器人和真空環(huán)境使用機器人，大氣環(huán)境使用的如MCL165、MFL2200D、MFS2500D，真空環(huán)境使用如VD10S、VD20D、VD35D、VD40D、VD95D。